Nakanishi,H et al: "Studies on SiO2-SiO2 bonding with hydrofluoric acid. Room temperature and low stress"Sensors & Actuators. 79. 237-244 (2000)
Nakanishi,H et al: "Studies on SiO2-SiO2 bonding with hydrofluoric acid. Room temperature and low stress"Sensors & Actuators. 79. 237-244 (2000)
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Nakanishi,H 等人：“SiO2-SiO2 与氢氟酸键合的研究。室温和低应力”传感器
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