HRTEM Study of Dislocation Structures in AIN Thin Films
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AlN 薄膜位错结构的 HRTEM 研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Yamamoto and Y.Ikuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Tokumoto;N.Shibata;T.Mizoguchi;M.Sugiyama;Y.Shimogaki;T.Yamamoto and Y.Ikuhara
