放射光X線トポグラフィによる歪みSiウエーハの歪み及び格子面傾斜揺らぎの2次元分布測定
放射光X線トポグラフィによる歪みSiウエーハの歪み及び格子面傾斜揺らぎの2次元分布測定
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利用同步加速器X射线形貌测量应变硅片应变和晶面倾斜波动的二维分布
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
志村考功
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nishikawa;S. Yamamura;Y.Sugawara;M.M.Matsushita;T.Sugawara;志村考功
