フェムト秒レーザー照射による SiC 上へのオーミック電極作製の可能性
フェムト秒レーザー照射による SiC 上へのオーミック電極作製の可能性
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使用飞秒激光照射在 SiC 上制造欧姆电极的可能性
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
富田 卓朗
中科院分区:
文献类型:
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作者:
滝谷 悠介;近藤 健太;直井 美貴;富田 卓朗;岡田 達也;富田 卓朗