Optical Depth Measurement for Microgrooves: A Self-interferometry Method based on Near-field Polarization Analysis
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微槽光学深度测量：基于近场偏振分析的自干涉测量方法
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Michihata and S. Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Guan. S.Masui;S. Kadoya;M. Michihata and S. Takahashi
