銅上CVDグラフェンにおけるTa誘起局所核生成のメカニズム

銅上CVDグラフェンにおけるTa誘起局所核生成のメカニズム
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铜上 CVD 石墨烯 Ta 诱导局部成核机制

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木 誠也,原 正則,吉村 雅満
鈴木 誠也,原 正則,吉村 雅満
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
井口 正彦;Masahiko Iguchi;Aki Suwa and Masahiko Iguchi;鈴木 誠也,原 正則,吉村 雅満

文献摘要

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