Instrumentation Developments in Atom Probe Tomography: Applications in Semiconductor Research
Instrumentation Developments in Atom Probe Tomography: Applications in Semiconductor Research
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原子探针断层扫描仪器的发展：在半导体研究中的应用
DOI：
10.1017/s1431927606065809
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发表时间：
2006
影响因子：
2.8
通讯作者：
T. Kelly
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Bunton;D. Lenz;J. D. Olson;K. Thompson;R. Ulfig;D. Larson;T. Kelly
2006年7月30日至8月3日在美国伊利诺伊州芝加哥举行的《显微技术与显微分析》会议上发表的一篇论文的扩展摘要
Extended abstract of a paper presented at Microscopy and Microanalysis 2006 in Chicago, Illinois, USA, July 30 – August 3, 2006