Study on Nanoscratching of C-plane Sapphire Wafer
Study on Nanoscratching of C-plane Sapphire Wafer
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C面蓝宝石晶片纳米划伤的研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hirotaka Ojima and Takeyuki Yamamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wangpiao Lin;Jun Shimizu;Libo Zhou;Teppei Onuki;Hirotaka Ojima and Takeyuki Yamamoto
