電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置のバランスシリンダ内圧のフィードフォワード制御
電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置のバランスシリンダ内圧のフィードフォワード制御
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电空混合超精密垂直定位装置平衡缸内压前馈控制
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐夕衛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
築山義信;加藤友規;中垣瞬;徐夕衛
