Koh M, Goto T, Sugita A, Tanii T, Iida, T, Shinada T, Matsukawa T, Ohdomari I: "Novel process for high-density buried nanopyramid array fabrication by means of dopant ion implantation and wet etching"JJAP. 40巻4B号. 2837-2839 (2001)
Koh M, Goto T, Sugita A, Tanii T, Iida, T, Shinada T, Matsukawa T, Ohdomari I: "Novel process for high-density buried nanopyramid array fabrication by means of dopant ion implantation and wet etching"JJAP. 40巻4B号. 2837-2839 (2001)
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Koh M、Goto T、Sugita A、Tanii T、Iida、T、Shinada T、Matsukawa T、Ohdomari I：“通过掺杂离子注入和湿法蚀刻制造高密度掩埋纳米金字塔阵列的新工艺”JJAP 40 卷。第 4B 号。2837-2839 (2001)
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