Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer,

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使用组合等离子体过程分析仪进行聚合物等离子体加工的高级研究和开发,

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
Thin Solid Films 518
影响因子:
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通讯作者:
M.Sekine M.Hori
M.Sekine M.Hori
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y.Setsuhara;K.Cho;K.Takenaka;M.Shiratani;M.Sekine M.Hori

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