Fabrication of High-Quality Templates by Face-to-Face Annealing of Sputtered AlN for Deep UV LEDs
Fabrication of High-Quality Templates by Face-to-Face Annealing of Sputtered AlN for Deep UV LEDs
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通过对深紫外 LED 溅射 AlN 进行面对面退火来制造高质量模板
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shigeyuki Kuboya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hideto Miyake;Kenjiro Uesugi;Kanako Shojiki;Shiyu Xiao;Shigeyuki Kuboya
