氮气流量对热丝增强等离子体磁控溅射制备CrN_x薄膜组织结构与性能的影响
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DOI：
10.13922/j.cnki.cjovst.2017.10.09
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吕哲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
张鑫;周艳文;高健波;郭媛媛;解志文;吕哲
