エアロゾルデポジション法による成膜時の厚さおよび温度の違いがアルミナ膜の集合組織に与える影響
エアロゾルデポジション法による成膜時の厚さおよび温度の違いがアルミナ膜の集合組織に与える影響
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气溶胶沉积法成膜过程中厚度和温度差异对氧化铝薄膜织构的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
香川豊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷川誠;小室雅大;木村響之介;田中誠;北岡諭;香川豊
