Experimental Study for High Effective Mobility with directly deposited HfO_2/La_2O_3 MOSFET

Experimental Study for High Effective Mobility with directly deposited HfO_2/La_2O_3 MOSFET
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直接沉积HfO_2/La_2O_3 MOSFET高效迁移率实验研究

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
Microelectronic Engineering Vol.86
影响因子:
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通讯作者:
Takamasa Kawanago
Takamasa Kawanago
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Ishikawa;M;Ogawa;O.N.;Ohkouchi;N.;Kase;T.;石川牧子・加瀬友喜;高橋昭紀・石川牧子・本田恵理・平野弘道;Takamasa Kawanago

文献摘要

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