フェムト秒レーザーによる硬質薄膜の微細加工
フェムト秒レーザーによる硬質薄膜の微細加工
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使用飞秒激光微加工硬薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
駒井謙次郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安丸尚樹;宮崎健創;木内淳介;駒井謙次郎
