Hideo Sugai,Noriyuki Yabuoshi,Hirotaka Toyoda: "Generation of a Large Electron Beam for Plasma Processing" Japanese Journal of Applied Physics. 28. L868-L870 (1989)

Hideo Sugai,Noriyuki Yabuoshi,Hirotaka Toyoda: "Generation of a Large Electron Beam for Plasma Processing" Japanese Journal of Applied Physics. 28. L868-L870 (1989)
复制标题

Hideo Sugai、Noriyuki Yabuoshi、Hirotaka Toyoda:“用于等离子体处理的大型电子束的生成”日本应用物理学杂志。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献