ICP-RIEを使用したスキャロップ削減方法の検討
ICP-RIEを使用したスキャロップ削減方法の検討
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使用 ICP-RIE 减少扇贝方法的考虑
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇崎滉太，穴井宏樹，川棚湧貴，新海聡子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永澤幹太;深瀬晶予;森 翔平;荒川元孝;八代 諭;石垣 泰;金井 浩;Yuusuke Takashima ,Masanobu Haraguchi andYoshiki Naoi;宇崎滉太，穴井宏樹，川棚湧貴，新海聡子
