C-V測定を用いた誘電膜の特性評価
C-V測定を用いた誘電膜の特性評価
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使用 C-V 测量评估介电膜的特性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
河合 晃
中科院分区：
文献类型：
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作者：
篠崎雅也;河合 晃
