集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発
集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発
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开发使用具有集合梁结构的双极静电吸附装置将薄膜物体附着到曲面的方法
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齊藤 滋規.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林 輝道;田岡 祐樹;齊藤 滋規.
