T.Hirano, T.Furuhata, K.J.Gabriel, H.Fujita: ""Design, Fabrication, and Operation of Submicron Gap Comb-drive Microactuators"" IEEE/ASME Jour.of Microelectromechanical Systems. vol.1. 52-59 (1992)
T.Hirano, T.Furuhata, K.J.Gabriel, H.Fujita: ""Design, Fabrication, and Operation of Submicron Gap Comb-drive Microactuators"" IEEE/ASME Jour.of Microelectromechanical Systems. vol.1. 52-59 (1992)
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T.Hirano、T.Furuhata、K.J.Gabriel、H.Fujita：“亚微米间隙梳状驱动微执行器的设计、制造和操作”IEEE/ASME Jour.of 微机电系统。
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