スパッタ法により作製したSc-doped TiO2薄膜の構造と電気特性
スパッタ法により作製したSc-doped TiO2薄膜の構造と電気特性
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溅射法制备Sc掺杂TiO2薄膜的结构与电学性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
組頭広志、樋口透
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上智弘;冨山和哉;坂井延寿;組頭広志、樋口透
