Ho-Jun Lee: "Observations of Silicon Surfaces Exposed to Inductively Coupled CHF_3 and C_4F_8/H_2 Plasmas Using Fourier Transform Infrared Ellipsometry" Jpn.J.Appl.Phys.37・8. 4522-4526 (1998)

Ho-Jun Lee: "Observations of Silicon Surfaces Exposed to Inductively Coupled CHF_3 and C_4F_8/H_2 Plasmas Using Fourier Transform Infrared Ellipsometry" Jpn.J.Appl.Phys.37・8. 4522-4526 (1998)
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Ho-Jun Lee:“使用傅里叶变换红外椭圆光度法观察暴露于感应耦合 CHF_3 和 C_4F_8/H_2 等离子体的硅表面”Jpn.J.Appl.Phys.37・8(1998)。

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