スパッタ/イオン照射複合プロセスにおけるArイオンエネルギー測定
スパッタ/イオン照射複合プロセスにおけるArイオンエネルギー測定
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溅射/离子辐照联合工艺中的Ar离子能量测量
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池永訓昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
一瀬純弥;井上順広 ;佐々木直栄;池永訓昭
