廃シリコンの化学的精製のための前処理法の開発
廃シリコンの化学的精製のための前処理法の開発
复制标题
废硅化学提纯预处理方法的研制
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
友野和哲,宮本成司,古屋博敏,岡村優樹,小松隆一,中山雅晴
中科院分区:
文献类型:
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作者:
G. Kawamura;M. Kobayashi;S. Dai;K. Mukai;R. Sano;B. Peterson;Y. Feng;友野和哲,宮本成司,古屋博敏,岡村優樹,小松隆一,中山雅晴