Proton beam writing of submicrometer structures at LIPSION
Proton beam writing of submicrometer structures at LIPSION
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LIPSION 亚微米结构的质子束写入
DOI：
10.1016/j.nimb.2007.02.056
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发表时间：
2007
影响因子：
1.3
通讯作者：
T. Butz
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F. Menzel;D. Spemann;S. Petriconi;J. Lenzner;T. Butz
