Y.UCHIDA: "Optimization of Low-K Porous Silica Films Incorporated with Alkylene Groups"Proc. of E-MRS. (2002)

Y.UCHIDA: "Optimization of Low-K Porous Silica Films Incorporated with Alkylene Groups"Proc. of E-MRS. (2002)
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Y.UCHIDA:“掺有亚烷基的低 K 多孔二氧化硅薄膜的优化”Proc。

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