Control of Photo and Thermal Decomposition of Diazo/PVA Resist with inclusion Compounds
Control of Photo and Thermal Decomposition of Diazo/PVA Resist with inclusion Compounds
复制标题
包合物控制重氮/PVA抗蚀剂的光分解和热分解
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Keiko Harada
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Keiko Harada
DOI:
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发表时间:
1976
期刊:
影响因子:
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作者:
R. Bartsch;Hsien Chen;N. Haddock;P. N. Juri
通讯作者:
P. N. Juri
DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
J.Imaging Sci.Technol. 46
影响因子:
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作者:
T.Satoh;K.Yamaguchi;Kazuyuki Sugita;Kieko Harada
通讯作者:
Kieko Harada