表面ホール電位測定による半導体材料の電気的性質の評価

表面ホール電位測定による半導体材料の電気的性質の評価
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通过测量表面空穴电位评估半导体材料的电性能

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
有馬健太
有馬健太
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
桧皮賢治;仲岡亮史;森田瑞穂;有馬健太

文献摘要

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