MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発
MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発
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利用MEMS技术开发ECF微电机
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
枝村一弥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金俊完;西田吉人;横田眞一;吉田和弘;枝村一弥
