窒化物厚膜をターゲットに用いたパルスレーザー堆積法によるZn3N2エピタキシャル薄膜の作製

窒化物厚膜をターゲットに用いたパルスレーザー堆積法によるZn3N2エピタキシャル薄膜の作製
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以氮化物厚膜为靶材脉冲激光沉积制备Zn3N2外延薄膜

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
長谷川 哲也
長谷川 哲也
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
土井 雅人;朱 雨庭;中尾 祥一郎;廣瀬 靖;杉澤 悠紀;菊田 純一;関場 大一郎;長谷川 哲也

文献摘要

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