Design of process diagnostics for excimer laser irradiation of oxide thin films
Design of process diagnostics for excimer laser irradiation of oxide thin films
复制标题
氧化物薄膜准分子激光辐照过程诊断设计
DOI：
10.7567/jjap.53.05fb08
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发表时间：
2014
影响因子：
1.5
通讯作者：
T. Tsuchiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Shinoda;T. Nakajima;M. Hatano;T. Tsuchiya
