SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化
SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化
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使用 SPM 和表面结构变化进行硅单晶纳米加工
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高木誠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田浩也;松室昭仁;岩田博之;高木誠
