H.Saitoh, Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Conditions for form action of BN film by thermally assisted rf plasma CVD" JIM, 54(1990), 186.
H.Saitoh, Y.Hirotsu and Y.Ichinose: "Conditions for form action of BN film by thermally assisted rf plasma CVD" JIM, 54(1990), 186.
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H.Saitoh、Y.Hirotsu 和 Y.Ichinose：“通过热辅助射频等离子体 CVD 形成 BN 膜的作用条件”JIM，54（1990），186。
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