Hetero- and Homo-Epitaxy of Thick AIN Layers by Hydride Vapor Phase Epitaxy
Hetero- and Homo-Epitaxy of Thick AIN Layers by Hydride Vapor Phase Epitaxy
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通过氢化物气相外延进行厚 AlN 层的异质和同质外延
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sitar
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y;Kumagai;Y;Kubota;T;Nagashima;T;Kinoshita;R;Dalmau;R;Schlesser;B;Moody;J;Xie;H;Murakami;A;Koukitu;Z;Sitar
