バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ : 片面駆動形の試作(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ : 片面駆動形の試作(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
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使用双压电晶片PZT元件阵列的薄型蠕动管微型泵：单侧驱动型原型（机械元件、润滑、加工、生产控制等）
DOI：
10.1299/kikaic.68.643
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
眞一 横田
中科院分区：
文献类型：
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作者：
豊史 近藤;眞一 横田
在这项研究中，一种新型的蠕动微泵使用双压电晶片型PZT元件。液体的泵送是通过由金属薄膜形成的通道的主动蠕动运动来实现的。通过控制放置在金属膜上的5个双压电晶片型PZT元件的驱动电压来控制运动。本文制作了20 mm×20 mm×2 mm的蠕动微泵，验证了蠕动微泵的泵送原理，并对其特性进行了测试。为了提高压电陶瓷的泵浦特性，提出了压电陶瓷的间歇正弦驱动方法。获得了250 mm 3/min的最大输出流量和3.1 kPa的最大负载压力。
In this study, a novel peristaltic micro pump using bimorph type PZT elements is proposed. The pumping of liquid is realized by active and peristaltic motion of channel formed with metal film. The motion is controlled with controlling driving voltage of 5 bimorph-type PZT elements that are laid on the metal film. In this paper, the peristaltic micro pump (20 mm×20 mm×2 mm) is fabricated to verify the pumping principle and to examine the characteristics. Intermittent sinusoid driving method for PZT element is proposed to advance the pumping characteristics. The maximum output flow rate of 250 mm3/min is obtained and the maximum load pressure of 3.1 kPa is obtained.