Metalorganic Chemical Vapor Deposition of β-FeSi_2 on β-FeSi_2 Seed Crystals formed on Si substrates
Metalorganic Chemical Vapor Deposition of β-FeSi_2 on β-FeSi_2 Seed Crystals formed on Si substrates
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β-FeSi_2在Si衬底上形成的β-FeSi_2晶种上的金属有机化学气相沉积
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Suemasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Suzuno;K. Akutsu;H. Kawakami;K. Akiyama;and T. Suemasu
