Masanori Shinohara et al.: "Interaction of hydrogen-terminated Si(100), (110), and (111) surfaces with hydrogen plasma investigated by in situ real-time infrared absorption spectroscopy"Journal of Vacuum Science & Technology A. 21・1. 25-31 (2003)
Masanori Shinohara et al.: "Interaction of hydrogen-terminated Si(100), (110), and (111) surfaces with hydrogen plasma investigated by in situ real-time infrared absorption spectroscopy"Journal of Vacuum Science & Technology A. 21・1. 25-31 (2003)
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Masanori Shinohara等人：“通过原位实时红外吸收光谱研究氢封端的Si(100)、(110)和(111)表面与氢等离子体的相互作用”真空科学与技术杂志A.21。 1. 25-31 (2003)
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