6H-SiC基板上微細メサ構造へのエピタキシャルグラフェン形成
6H-SiC基板上微細メサ構造へのエピタキシャルグラフェン形成
复制标题
6H-SiC 衬底上精细台面结构上的外延石墨烯形成
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
半田浩之
中科院分区:
文献类型:
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作者:
谷口勇太;辻埜太一;堀田將;長谷川勝;半田浩之