A Novel Plate-Like Sensor Utilizing Curvature-Based Stiffening for Nanometrology Applications
A Novel Plate-Like Sensor Utilizing Curvature-Based Stiffening for Nanometrology Applications
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一种利用基于曲率的加固的新型板状传感器，用于纳米计量应用
DOI：
10.1115/dscc2020-3301
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tung, Ryan C.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shihab, Rafiul;Jalil, Tasmirul;Gulsacan, Burak;Aureli, Matteo;Tung, Ryan C.
