High Density Formation of Mn and Mn-germanide Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma
High Density Formation of Mn and Mn-germanide Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma
复制标题
远程氢等离子体诱导高密度形成锰和锰锗化物纳米点
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Ikeda and S. Miyazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Wen;K. Makihara;A. Ohta;M. Ikeda and S. Miyazaki
