反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係
反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係
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反应溅射辊上Mo-S-O薄膜氧含量与润滑性能的关系
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
兼田禎宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小熊清典;池田満昭;砂原賢治;松田健次;兼田禎宏
