Thermal stability and gap-fill properties of spin-on MSQ low-k dielectrics
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DOI：
10.1016/j.mee.2007.06.007
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发表时间：
2007-11
影响因子：
2.3
通讯作者：
N. Ahner;S. Schulz;F. Blaschta;M. Rennau
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Ahner;S. Schulz;F. Blaschta;M. Rennau
