Tunable micromachined vertical cavity surface emitting laser
Tunable micromachined vertical cavity surface emitting laser
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可调谐微机械垂直腔表面发射激光器
DOI：
10.1049/el:19951159
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发表时间：
1995
影响因子：
1.1
通讯作者：
C. Chang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Wu;E. Vail;G. S. Li;W. Yuen;C. Chang
报道了一种可调谐垂直腔面发射激光器，在5.7V的电压下获得了15nm的波长调谐。得到了红移和蓝移。该装置使用微机械悬臂自由悬挂上部镜面反射器的一部分。悬臂可以朝着衬底静电偏转，以调谐激光微腔的谐振波长。
A tunable vertical cavity surface emitting laser with a record 15 nm wavelength tuning for an applied voltage of only 5.7 V is reported. Both red and blue shift are obtained. The device uses a micromachined cantilever to freely suspend a portion of the upper mirror reflector. The cantilever may be electrostatically deflected towards the substrate, to tune the resonant wavelength of the laser microcavity.