Fast Figure Correction of 400 mm Diameter ULE Mirror by Reactive Atom Plasma

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利用反应原子等离子体对 400 mm 直径 ULE 镜进行快速图形校正

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
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影响因子:
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通讯作者:
Castelli M
Castelli M
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Castelli M

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