A., Taguchi, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "Study on 3D Micro-Profile Measurement Using Optical Inverse Scattering Phase Method-Improvement of Fourier Transform Optical System-"Annual Meeting of JSPE. 103-104 (2000)
A., Taguchi, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "Study on 3D Micro-Profile Measurement Using Optical Inverse Scattering Phase Method-Improvement of Fourier Transform Optical System-"Annual Meeting of JSPE. 103-104 (2000)
复制标题
A.、田口、T.Miyoshi、Y.Takaya、S.Takahashi:“利用光学反散射相位法进行3D微轮廓测量的研究——傅里叶变换光学系统的改进——”JSPE年会。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: