シリコン同位体周期構造を用いた共注入フッ素・ホウ素と自己拡散の同時観測
シリコン同位体周期構造を用いた共注入フッ素・ホウ素と自己拡散の同時観測
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利用硅同位素周期结构同时观察氟/硼共注入和自扩散
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤 公平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木我 亮太郎，植松 真司;伊藤 公平
