顕微ELイメージングによる多結晶Si中粒界の電気的特性の定量評価
顕微ELイメージングによる多結晶Si中粒界の電気的特性の定量評価
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使用显微 EL 成像定量评估多晶硅介质晶界的电性能
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
米永一郎
中科院分区:
文献类型:
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作者:
沓掛健太朗;宮崎直人;鮫島崇;立花福久;小椋厚志;徳本有紀;大野裕;宇佐美徳隆;米永一郎