紫外光照射と加熱併用による新しい研磨法の開発 －単結晶ダイヤモンド基板の加工特性の調査－
紫外光照射と加熱併用による新しい研磨法の開発 －単結晶ダイヤモンド基板の加工特性の調査－
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开发结合紫外线照射和加热的新型抛光方法 - 单晶金刚石基材加工特性的研究 -
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田北隆浩，久保田章亀，峠 睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀，田北隆浩，峠 睦;田北隆浩，久保田章亀，峠 睦;田北隆浩，久保田章亀，峠 睦
