H.Zama: "Preparation of Highly Oriented Copper Films by PhotoーAssisted Chemical Vapor Deposition Using βーdiketonate Complex," Jpn.J.Appl.Phys.(1992)
H.Zama: "Preparation of Highly Oriented Copper Films by PhotoーAssisted Chemical Vapor Deposition Using βーdiketonate Complex," Jpn.J.Appl.Phys.(1992)
复制标题
H.Zama：“使用 β-二酮复合物通过光辅助化学气相沉积制备高度取向的铜膜”，Jpn.J.Appl.Phys.(1992)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
